Nadzor čistosti medeninastih okov v polprevodniških specialnih plinskih sistemih
Uvod v polprevodniške posebne plinske sisteme
Procesi iz proizvodnje polprevodnikov zahtevajo zelo čista, zelo nadzorovano okolje.
Posebni sistemi za dostavo plina igrajo ključno vlogo pri korakih jedkanja, odlaganja, dopinga in čiščenja.
Plini, kot so Silane, Amoniak, vodikov klorid in dušikov trifluorid, zahtevajo transportne poti visoke čistosti.
Medeninasti okovji, čeprav niso vedno prva izbira, se včasih uporabljajo v sekundarnih linijah ali podpornih sistemih.
VzdrževanjeKemična čistost in strukturna celovitostmedeninastih okov je ključnega pomena za preprečevanje kontaminacije.
Pomen materialne čistosti pri uporabi polprevodnikov
Polprevodniki so izjemno občutljivi na nečistoče na molekularni ravni.
Celo kontaminacija delov na milijardo (PPB) iz cevovodov ali okov lahko privede do izgube donosa ali okvare naprave.
Izkazovanje, korozije ali površinske reakcije v plinskih linijah je treba tesno nadzorovati.
Zaradi tega je izbira materiala in upravljanje čistosti osrednjega pomena za oblikovanje plinskega sistema.
Medenina z ustrezno zaključkom in nadzorom kakovosti lahko izpolnjuje te standarde v nekritičnih plinovodov.
Medeninasta sestava in pomisleki
Standardna medenina je zlitina bakra in cinka, ki včasih vsebuje svinca ali kositer.
Nečistoče, kot so žveplo, fosfor ali preostala olja, lahko ogrozijo raven čistosti.
Medenina z visokim svincem se strogo izogibajo v čistilni ali polprevodniški uporabi.
SamoNizka nizka, odporna na dezincifikacijo (DZR)Za takšna okolja je treba upoštevati medenino.
Proizvajalci morajo zagotovitimaterialna potrdilapotrditev skladnosti s standardi SEMI, ASTM ali ROHS.
Zahteve za površino in elektropoliranje
Notranji površinski zaključek medeninastih okovje močno vpliva na čistočo plinskega sistema.
Grobe ali porozne površine lovijo vlago, ogljikovodike in delce, kar povzroča dolgotrajno kontaminacijo.
Da bi se zoperstavili temu, so okovje pogostoelektropoliranaDa bi dosegli gladko, pasivirano notranjo površino.
Ciljna površinska hrapavost (ra) je običajno manjša od0.2 µmza distribucijske linije.
Post-poliranje, okovje v čiščenjutopila za ultramensledi vakuumsko sušenje in čiščenje dušika.
Nadzor delcev in čistilna embalaža
Medeninasti okovje za polprevodniške plinske sisteme morajo izpolnjevati strogeSpecifikacije števila delcev.
Vsak ohlapni delci ali kovinski kosmiči so lahko katastrofalni za rezine, občutljive na plin.
Da bi to obravnavaliUltrazvočno čiščenjeUporaba standardov čistega prostora za vodo in razreda 100.
Ko so očiščeni, so okovjedvojno vrečkov embalaži čiste sobe, da se prepreči ponovno vzpostavitev.
Nalepke pogosto vključujejo veliko sledljivosti, čistilne informacije o čiščenju in kazalnike za nadzor vlage.
Pasivacija in premazi za kemično stabilnost
Ker je medenina bolj reaktivna od nerjavečega jekla, je površinska pasivacija ključnega pomena.
Metode pasivacije vključujejo nadzorovano oksidacijo, prevleke brez kroma aliNikelj plošča.
Nikelj ali električni nikljevi premazi služijo kot pregradni sloj za preprečevanje izpiranja ali oksidacije cinka.
Ta prevleka poveča tudi kemično združljivost s plini, kot sta HF ali CLF₃.
Pregledi debeline redne prevleke in testiranje adhezije zagotavljajo vzdržljivost v sistemih pod tlakom.
Pregled, certificiranje in sledljivost
Mehanske okovje visoke čistosti morajo opravitiPregled na več ravnehpred integracijo v bencinske linije.
Testiranje vključuje:
Testiranje puščanja helija (običajno<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Analiza preostalega plina (RGA)
Preskusi za odstranjevanje delcev mikrobalance
XRF ali ICP-MS za preverjanje materiala
Vsaka namestitev mora biti v celotisledljivo s številko sklopa, s pripadajočimpotrdila o skladnosti (COC).
Nekateri objekti zahtevajo revizije tretjih oseb ali dokumentacijo o certifikaciji ISO 14644.
Meje in alternative aplikacije
Medtem ko lahko medenina izpolnjuje merila čistosti, je njegova uporabaomejena na nekritične potiV polprevodniških fabs.
Za plinovodne linije ultra-visoke čistosti (UHP),316L iz nerjavečega jekla z VCR ali orbitalnimi zvarije prednostna.
Medeninaste okovje se lahko uporabijo v izpušnih sistemih, čistilnih linijah aliobdelajte hladilne vodne sisteme.
Ko je pravilno izbrana in ustrezno obdelana, medenina zagotavlja stroškovno učinkovito, stabilno rešitev.
Prihodnji napredek tehnologije prevleke in čiščenja lahko razširi svojo uporabnost v polprevodniških aplikacijah.
Zaključek
Nadzor čistosti v medeninastih okovjih za polprevodniške specialne plinske sisteme je tako zapleten in bistven.
Od izbire materiala do površinske končne obdelave in embalaže vsak korak vpliva na kakovost plina.
Medtem ko medenina ni idealna za aplikacije z visoko čistostjo, lahko napredno zdravljenje in nadzor kakovosti omogočijo izvedljivi v izbranih conah.
S strogim pregledom, pasivacijo in certificiranjem lahko ta okovja varno podpirajo okolje za proizvodnjo čipov naslednje generacije.
Kontaktirajte ifan
Telefon:+86 15088288323
E -poštni:sales24-ifan@ifangroup.com
